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    金屬掩模測量設備 —— AM-OLED張網檢測


    SOC260

    SOC260主要應用于G6產線蒸鍍金屬掩模的TP/CD檢測。
       產品特征

    ● 龍門氣浮結構

    ● 多自由度激光干涉儀

    ● 高精度

    ● 高效率

    ● 可配置不同的照明方式

    ● 可靠的溫度控制系統

       主要技術參數

    型號

    SOC260 

    線寬測量重復性

    100nm@3sigma(On Metal Mask)

    線寬測量精度

    ±300nm(On Mapping Glass)

    長寸測量重復性

    300nm@3sigma(On Mapping Glass)

    長寸測量重復性

    500nm@3sigma(On Metal Mask)

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