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    長短寸測量設備 —— 長寸測量兼容短寸和光刻膠膜厚測量


    SOM245/10

    SOM255/10

    SOM200系列測量設備主要應用于TFT Array、Color Filter和FOPLP等制程工藝。其中,SOM200/10系列為長寸測量設備,又稱為長短寸測量設備或基板變形檢測設備或精密測長機,主要應用于長寸測量,兼容短寸測量,可選配光刻膠膜厚測量;SOM200/10A系列為關鍵尺寸測量設備,主要應用于短寸測量。該系列設備沿用高分辨率曝光機相關技術,可用于4.5代、5代、5.5代或6代等各種基板的測量。
       產品特征

    ● 多功能測量

    ● 高測量精度

    ● 高測量效率

    ● 高精度的溫度控制和高效潔凈系統

       主要技術參數

     型號

    SOM245

     SOM255

     SOM260

    基板尺寸

    730mm×920mm

    1100mm×1300mm

    1500mm×1850mm

    1300mm×1500mm

     TP測量重復性

    300nm

     300nm

    300nm

     TP測量復現性

    400nm

    500nm

    500nm

    CD/OL測量重復性

    30nm

    30nm

    30nm

    CD/OL測量復現性

    40nm

    40nm

    40nm

    Tact Time

    5 min

    6 min

    7 min

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